半導体洗浄装置を
トータルでサポートする
Total Support
当社は、半導体洗浄装置の設置・調整・検査・保守メンテナンスを請け負っております。半導体洗浄装置のリーディングカンパニーである株式会社SCREENホールディングスと提携し、豊富な知識と技術力でトータルで半導体製造を洗浄装置からサポートいたします。
業務内容
SUPPORT 01
搬入・据付
半導体洗浄装置の搬入・据付は、クリーンルーム内で高い精密性とクリーン環境への対応が求められる作業です。装置の分解搬入、位置調整、各種配管接続後、動作確認と安全試験を行います。
わずかな微粒子、金属、化学物質などの不純物が製品に付着することも許されない環境下での作業の為、スペシャリストによる作業が不可欠な工程です。
- 装置の分解搬入、位置調整、各種配管接続が主な作業
- 高い精密性とクリーン環境への対応
- スペシャリストによる作業が不可欠
SUPPORT 02
調整・検査
半導体洗浄装置の調整および検査作業は、装置が仕様通りに動作し、異常や不具合がないことを確認する重要な工程です。ノズルや搬送部の位置調整、洗浄液の流量・温度設定、センサーの校正を行います。
試験洗浄で除去性能や異常の有無を確認し、圧力や温度などの記録値を基準と照合して正しく動作することをチェックします。
- ノズルの位置調整、洗浄液の流量/温度設定、センサー校正が主な作業
- 装置が仕様通りに動作し、異常や不具合がないことを確認
- 圧力や温度などの記録を基準と照合して正しく動作することをチェック
SUPPORT 03
保守・メンテナンス
半導体洗浄装置の保守・メンテナンス作業では、装置の安定稼働と製品品質の維持を目的に、定期的な点検・清掃・部品交換が行われます。配管やノズルの清掃、フィルター交換、動作確認、センサーの調整、ソフトウェア診断などを行い、故障や性能低下を未然に防ぎます。
また使用される薬液の特性上、安全管理も重要であり、防護具着用や換気設備の確認も徹底されます。
- 定期的な点検・清掃・部品交換・調整が主な作業
- 装置の安定稼働と製品品質の維持し、故障や性能低下を未然に防止
- 薬液の特性上、各種安全管理（防護服・換気設備など）も確認
お問い合わせ
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